电子工业专用设备杂志部级期刊

电子工业专用设备 2017年第04期杂志 文档列表

电子工业专用设备杂志先进封装技术与设备

晶片的初始宏观形变对硅-硅直接键合的影响第1-4页

关键词: 键合；  弯曲变形；  翘曲度；  

裸铜框架铜线键合封装技术研究第5-7页

关键词: 裸铜框架；  氧化；  

芯片底部填充胶的应用探讨第8-11页

关键词: 倒装芯片；  底部填充胶；  半导体封装；  

IC高速装片设备飞行视觉系统研究第12-16页

关键词: ic高速装片设备；  飞行视觉；  辅助标识；  定位；  

倒装设备键合头旋转补偿算法研究第17-19页

关键词: 倒装设备；  键合头；  旋转补偿算法；  

电子工业专用设备杂志IC制造工艺与设备

应用于微波/毫米波领域的集成无源器件硅基转接板技术第20-23页

关键词: 集成无源器件；  硅通孔；  互补金属氧化物半导体；  转接板；  射频；  

等离子化学气相沉积工艺后硅片检测系统的设计第24-27页

关键词: 膜厚；  折射率；  缺陷；  检测；  

硅片酸腐蚀影响因素的正交实验第28-29页

关键词: 硅片；  酸腐蚀；  正交实验；  总厚度偏差；  

硅膜RFMEMS开关第30-34页

关键词: 射频mems；  开关；  硅膜；  

矩形磁控溅射靶电磁场分析及优化第35-38页

关键词: 磁控溅射；  溅射靶；  电磁场；  靶材利用率；  

扫描式磁控溅射设备及工艺研究第39-42页

关键词: 磁控溅射；  薄膜；  工艺实验；  扫描；  沉积；  

高温MOCVD外延生长AlN材料研究第43-49页

关键词: aln；  高温mocvd；  晶体质量；  生长速率；  

电子工业专用设备杂志电子专用设备研究

图形双缓冲和GDI＋在多靶磁控溅射系统中的应用第50-55页

关键词: 双缓冲；  闪烁；  图形设备用户接口；  

基于最小二乘法的吸咀吸取压力的研究第56-59页

关键词: 表面贴装技术；  吸咀；  可编程多轴控制器；  矩阵实验室；  最小二乘法；  

全自动光刻机对准系统的设计与研究第60-63页

关键词: 全自动光刻机；  对准系统；  显微镜；  调焦机构；  xy平台；