电子工业专用设备杂志部级期刊

电子工业专用设备 2017年第01期杂志 文档列表

电子工业专用设备杂志趋势与展望

我国封测装备在科技重大专项支持下取得质的突破第1-2页

关键词: 长电科技；  科技重大专项；  通富微电；  封装测试；  晶圆级封装；  晶圆制造；  布线技术；  凸点；  技术水平；  先进封装；  

“超越摩尔定律”推动中国微技术和纳米技术增长第3-3页

关键词: 摩尔定律；  光刻技术；  纳米技术；  器件功能；  封装结构；  微技术；  先进封装；  系统级封装；  图像传感器；  键合技术；  

电子工业专用设备杂志半导体制造工艺与设备

SiC外延炉加热系统的设计第4-7页

关键词: 碳化硅；  外延生长；  加热器；  线圈；  温度曲线；  

20nm高介电常数金属栅极缺陷减少技术第8-13页

基于SU8020扫描电镜光学系统合轴研究第14-18页

关键词: 扫描电镜；  光学系统；  合轴；  

ULVAC IH-860DSIC注入机系统解析第19-25页

关键词: 离子注入；  离子源；  离子源加热静电吸盘；  法拉第系统；  

第十一届（2016年度）中国半导体设备创新产品获选项目第25-25页

硅片研磨液的研究第26-27页

关键词: 研磨液；  硅片；  悬浮；  活性剂；  

一种腐蚀清洗设备中的特异气体监测及处理第28-30页

关键词: 腐蚀清洗；  特异气体；  监测处理；  

电子工业专用设备杂志先进封装技术与设备

电子制造中X射线检测系统中的放大倍数第31-34页

关键词: 微焦点x射线；  放大倍数；  数字成像；  

物联网的微机电系统封装第35-38页

关键词: 物联网；  mems封装；  陀螺仪；  压力传感器；  加速度计；  

2017年半导体业购并趋势延续第38-38页

关键词: 半导体业；  交易规模；  atmel；  恩智浦；  mentor；  cypress；  物联网；  资料中心；  

TO252封装产品可靠性改善研究第39-42页

关键词: 单基岛双芯片；  离层；  可靠性提高；  

贴片机结构的优化第43-45页

关键词: 独立胶辊；  收废料辊；  运行效果；  

电子工业专用设备杂志电子专用设备研究

r电机齿轮耦合技术在多线切割机排线上的技术研究第46-48页

关键词: 电子齿轮耦合；  10mc控制器；  摆动式单线切割机；